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深冷捕集泵为何能加快高真空装置的抽气速度并提高真空度

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  将一个温度极低的深冷盘管放置在真空腔室内或者油扩散泵口,根据气体的低温冷凝效应,可以迅速使真空系统中的水蒸气及其它气体凝结在深冷盘管上,由此可以快速达到降低真空腔室内气压的效果,大幅度减少抽真空的时间,同时可使真空度提高半个到一个数量级,因而大大提高生产效率,节约生产成本,所以被称为真空业界的好帮手,真空镀膜系统的节能先锋。


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